由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。半導體無塵車間

    1、室內的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)

    2、垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

    3、與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。

    4、潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值：

    5、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

    6、保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

    7、凈化空調系統(tǒng)加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。無塵室的送風量。半導體無塵車間